溅射薄膜压力敏感元件使用说明

1.概述
　　
　　溅射薄膜压力敏感元件采用溅射工艺在17－4PH金属膜片上制作绝缘层及金属应变电桥和温度敏感电阻，具有稳定性高、耐高温、介质适应性强的特点。
　　
　　2.结构外形和电路接口

膜片内孔直径A＝4.5mm   压力量程：0.5MPa～2Mpa

A＝3.5mm   压力量程：3.5MPa～220Mpa

　　
　　3.敏感膜片结构安装要求

敏感膜片和压力接口的连接采用焊接方式（圆周对焊），具体安装图如下所示：

                                   焊接基座                                                       焊后结构

　　 
　　膜片和基座的焊接可采用电子束焊、激光焊及微束氩护焊。焊接时膜片部分应加散热工装，并保护电桥部分（上图1面）。膜片电桥部分（上图1面）在焊接过程中温度应小于150℃。
　　
　　基座材料应采用17－4PH或1Cr18Ni9Ti、316不锈钢材料。
　　
　　4.使用注意事项
　　
　　4.1 严禁用手或其他物体接触膜片表面（应变图形），膜片表面的任何划伤均会损坏膜片。
　　
　　4.2 膜片电接点有两种方式：镍材料－采用超声压焊，可用于高温传感器。铅/锡合金－可直接使用烙铁锡焊，注意烙铁要接地良好。
　　
　　4.3 膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥。
　　
　　4.4 膜片焊接后，应对传感器组件进行机械稳定20次以上，压力大小为量程的2倍。根据具体应用情况，进一步进行机械稳定（机械稳定次数视膜片稳定性要求而定，建议在20～2000次之间）。
　　
　　4.5 建议对应变电阻进行电老化：供电电压10～15VDC，＋150℃ 12小时。根据实际情况可进一步电老化。
　　
　　4.6 应变电桥的供电应采用直流恒压供电，供电电压为0～20VDC。
　　
　　5.主要技术指标：
　　
　　量程：0.5～220MPa;
　　
　　电桥输入阻抗：3～4KΩ
　　
　　电桥输出阻抗：2.8~3.8 KΩ
　　
　　零点：±1mV/V
　　
　　灵敏度：1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)
　　
　　绝缘电阻：大于500MΩ  100VDC。
　　
　　工作温度范围：－70℃～200℃；（锡焊连接，较高温度以焊锡使用温度为准。）
　　
　　零点温度漂移：小于0.005%FS/℃
　　
　　灵敏度温度漂移：小于0.005%FS/℃
　　
　　长期稳定性：小于0.1%FS/年。
　　
　　静态过载压力：2倍量程压力；
　　
　　动态过载压力：1.25倍量程压力；
　　
　　破坏压力：10倍量程压力
　　
　　温度敏感特性：
　　
　　Vc=（温度输出）－（电源－）
　　
　　Vc初值：46mV/V~60mV/V
　　
　　Vc灵敏度：＋4800～＋5100ppm/℃